随着科学技术的发展,对传感器功能的要求也越来越高。采用MEMS工艺制作的ZnO压电薄膜压力传感器,具有体积小、易集成、灵敏度和信噪比高等优点。但是复合微悬臂梁式传感器制备工艺较难,各层薄膜工艺存在兼容性问题。本文主要对ZnO压电薄膜压力传感器进行了结构设计,通过研究MEMS加工工艺,设计了ZnO压电薄膜传感器的制备工艺流程,并制作出了复合微悬臂梁。首先设计了一种微悬臂梁结构式的ZnO压电薄膜压力传感器。建立了压电微悬臂梁的作用力与电荷量转换方程模型,同时研究分析了复合微悬臂梁的长度、宽度和厚度对输出电荷量的影响。然后研究分析了影响溅射法淀积ZnO压电薄膜性能的主要工艺参数,优化了薄膜制备工艺参数,成功制备出了致密、粘附性好的ZnO压电薄膜。结合实验室具体条件,以与工艺兼容的ZnO压电薄膜微力传感器为研究对象,避免了对ZnO层的腐蚀性问题。设计了ZnO压电薄膜微悬臂梁的制备工艺流程,同时设计了五张压电传感器的掩模版图。最后,根据实验设备条件,通过调整和改进以上的工艺步骤,对ZnO压电薄膜的制备及性能改进进行了研究。对影响实验质量的因素进行分析和讨论,得出了制备传感器各工艺步骤的具体工艺参数和实验数据。并完成了复合微悬臂梁结构的制作。