钡铁氧体(BaFe12O19,BaM)是一种具有六角晶体结构的亚铁磁性氧化物,M型钡铁氧体具有高矫顽力、高饱和磁化强度、良好的机械硬度和化学稳定性以及巨大的单轴各向异性能,被广泛用于永磁材料、微波毫米波段材料、微波吸收材料等。本文以硝酸盐为原料,柠檬酸为络合剂,采用溶胶凝胶(Sol-Gel)法制备了BaFe12O19薄膜材料。通过实验研究了不同的铁钡比、热处理温度、热处理时间、柠檬酸量对钡铁氧体薄膜性能的影响。在此基础上研究了铝离子、钴离子掺杂BaFe12O19对其性能的影响,主要研究内容如下：应用溶胶凝胶法,以硝酸铁、硝酸钡为原料,柠檬酸为络合剂,制备了一系列铁钡比、柠檬酸与硝酸钡的比不同的BaFe12O19薄膜。实验结果表明,前驱体溶胶中铁钡摩尔比为6.5,柠檬酸与钡的摩尔比为7.5时可制备均匀稳定的前驱体溶胶。每一层湿膜的的热处理工艺：先在3000C保温10分钟,再升到4500C保温10分钟,薄膜最后的热处理温度为850℃,保温2.5h。通过以上工艺在Si基片上制备出了BaFe12O19薄膜,其饱和磁化强度值为202.2emu/cm3,矫顽力值为3011.3Oe.参照纯相BaFe12O19薄膜的制备工艺,以硝酸铝、硝酸钴为原料,分别将铝离子和钴离子引入到BaFe12O19中,制备了BaAlxFe12-xO19(x=0、1.0、2.0)系列的薄膜和BaCoyFe12-yO19(y=0、0.5、1.0、1.5、2.0、3.0)粉末,研究表明随着铝离子取代量值x的升高,薄膜饱和磁化强度和剩余磁化强度均呈现减小的趋势,但矫顽力的值随着取代量x的增大呈现增大的趋势,矫顽力最大值为3298.9Oe。在粉末样品中,随着钴离子取代量y的增大,饱和磁化强度、剩余磁化强度和矫顽力呈现先增大后减小的趋势。