透镜作为光学系统的基本元件之一,它在光学仪器的光路传播过程中扮演着举足轻重的角色。从与我们日常生活息息相关的手机电脑屏幕、各类眼镜到航天飞机、载人飞船上的各类光学零部件,透镜都是极为重要的基本光学元件。说到透镜就离不来透镜表面镀制的各类薄膜,比如:手机屏幕的防蓝光膜,设备观察窗的增透膜等。薄膜作为透镜的基本单元有着广泛的现实应用。不同的薄膜实现不同的功能,ITO（Indium Tin Oxide）薄膜作为广泛研究的重掺杂金属氧化物薄膜有着各类特殊的性能,比如,低阻高透,等离子激元可调等,在太阳能电池以及电磁屏蔽等领域有着不可替代的优势^[1],为此在本文中我们重点讨论了ITO薄膜的制备技术,研究了在制备工艺改变的条件下它的光电性能与等离子激元等特性的变化。并对薄膜模型的设计与优化做了详尽的阐述。研究结果主要包括:1.介绍了ITO薄膜的光电、等离子激元等特性,以及在该特性下,对于现实物理发展的意义,阐述了目前ITO特性的前沿应用以及工业产品优化。2.分析了目前主流ITO制备技术,并对本论文所采用的电子束蒸镀设备进行重点介绍;对真空蒸镀ITO过程中所遇到的现实问题进行分析;阐述了镀膜过程的技术以及工作原理,探索了本实验仪器的最优ITO镀膜条件,对关键影响因素进行模拟研究,对实验工艺条件进行性能评价。3.对所制备的ITO薄膜的各种性能进行仪器表征、理论模拟,并对所用的仪器操作及原理进行介绍,分析了包括分光光度计、椭偏仪、场发射扫描电子显微镜、X射线衍射仪等与本实验样品表征相关的所有仪器工作机制。4.完成了基于测试仪器负反馈的单层ITO薄膜设计,利用Essential Macleod软件模拟并优化,确定了本实验条件下最佳的工艺参数,并通过实验进行了验证,通过对比发现,我们基于K9玻璃基底所镀制的低阻高透ITO薄膜在可见光波段（380～750nm）具有低阻高透性能,平均透过率超过88%,薄膜方阻大约在10Ω∕□左右,可用于显示器的基础研究。5.通过交叉实验以及理论分析,在改变镀膜工艺的条件下设计了不同参数的单层ITO薄膜,并对这一系列样品进行性能表征,证实了本次实验条件下所制备的ITO薄膜的等离子激元可调特性。