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提出一种二氧化硅／多晶硅／二氧化硅夹心深槽场限制环新结构来提高晶体管的击穿电压，模拟结果显示，该结构可以使射频功率双极性晶体管的击穿电压几乎100％达到平行平面结的理想值。
射频功率晶体管的多晶硅二氧化硅夹心深槽场限制环新结构
【摘 要】
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提出一种二氧化硅／多晶硅／二氧化硅夹心深槽场限制环新结构来提高晶体管的击穿电压，模拟结果显示，该结构可以使射频功率双极性晶体管的击穿电压几乎100％达到平行平面结的理想值。
【机 构】
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海南师范大学物理系,清华大学微电子所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2004年11期
【基金项目】
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清华大学“985”基金资助项目 (批准号 :2 0 0 0 0 12 )~~
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