【摘 要】
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铁电存储器与传统的非易失性存储器相比,具有功耗小、读写速度快、抗辐照能力强等优点,因此在一些特殊应用领域具有很好的市场。文章介绍了铁电存储器的基本工作原理,并介绍
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铁电存储器与传统的非易失性存储器相比,具有功耗小、读写速度快、抗辐照能力强等优点,因此在一些特殊应用领域具有很好的市场。文章介绍了铁电存储器的基本工作原理,并介绍了两种主流的铁电材料。文章还介绍了铁电存储器的电路结构,包括2T2C、1T1C、1T2C以及链式结构,并说明了铁电存储器的读写过程。铁电存储器的器件结构主要有Planar结构和Stacked结构两种。Planar结构制作工艺相对简单,但是集成度不高。Stacked结构的集成度更高,对工艺的要求也更高。
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