【摘 要】
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采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法,利用旋转涂覆技术在玻璃衬底及单晶Si(111)衬底上制备掺Zn2+的Mg0薄膜.使用紫外可见光分光光度计测定掺杂薄膜的透过率,并采用XRD和EDS等测试手段
【基金项目】
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中央高校基本科研业务费专项资金;
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采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法,利用旋转涂覆技术在玻璃衬底及单晶Si(111)衬底上制备掺Zn2+的Mg0薄膜.使用紫外可见光分光光度计测定掺杂薄膜的透过率,并采用XRD和EDS等测试手段研究薄膜的晶向结构和成分.结果表明,胶棉液的含量对成膜质量有重要的影响；随着Zn2+掺杂量的提高,薄膜透过率先增大后减小,在掺杂量为10％时,薄膜有最佳透过率;随着退火温度的升高,薄膜晶粒生长没有出现明显的择优取向.最后,对模拟放电单元进行放电测试,结果表明,在掺杂量为10％时,薄膜有最低着火电压和最高的记忆系数.
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