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二氧化硅乳胶是一种新型的液态扩散源。为满足需要,本所除研制并生产掺杂单个元素的乳胶源外,还研制出几种掺杂双元素的二氧化硅乳胶,而掺磷-砷的二氧化硅乳胶就是其中之一。它主要用在D401NPN型晶体管发射区的扩散工艺上,目的是克服工艺过
掺磷-砷二氧化硅乳胶的化学分析
【摘 要】
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二氧化硅乳胶是一种新型的液态扩散源。为满足需要,本所除研制并生产掺杂单个元素的乳胶源外,还研制出几种掺杂双元素的二氧化硅乳胶,而掺磷-砷的二氧化硅乳胶就是其中之一
【机 构】
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上海化学试剂研究所,上海化学试剂研究所,
【出 处】
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化学试剂
【发表日期】
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1987年05期
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