【摘 要】
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采用钽针尖氮化法首次制得了氮化钽场发射阴极。在加速电压为6.8kV,尖端温度为1300℃时,热场发射电流达210μA,相应的亮度可达3×10~8A/cm~2·str,角电流密度为5×10~3μA/st
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采用钽针尖氮化法首次制得了氮化钽场发射阴极。在加速电压为6.8kV,尖端温度为1300℃时,热场发射电流达210μA,相应的亮度可达3×10~8A/cm~2·str,角电流密度为5×10~3μA/str。在真空度为10~(-8)托时,能得到较为稳定的发射,30分钟内发射电流的漂移在2.5％以下。典型的场发射图象由中央为暗区,二侧有二叶对称的明区所构成。采用俄歇谱仪对阴极表面进行了组成分析。
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