【摘 要】
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针对InGaP/AlGaAs/InGaAs PHEMT器件,进行了Ti/Pt/Au和Pt/Ti/Pt/Au两种栅金属结构的退火实验,通过实验研究比较,得到了更适用于增强型器件的退火工艺,利用Ti/Pt/Au结构,在320
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针对InGaP/AlGaAs/InGaAs PHEMT器件,进行了Ti/Pt/Au和Pt/Ti/Pt/Au两种栅金属结构的退火实验,通过实验研究比较,得到了更适用于增强型器件的退火工艺,利用Ti/Pt/Au结构,在320℃退火40min,使器件阈值电压正向移动大约200mV,从而成功制作了高成品率的稳定一致的增强型器件,保证了增强型器件阈值电压在零以上.
For the InGaP / AlGaAs / InGaAs PHEMT devices, the annealing experiments of Ti / Pt / Au and Pt / Ti / Pt / Au gate metal structures were carried out. Through the experimental study and comparison, the annealing process was more suitable for the enhanced devices, The Ti / Pt / Au structure was annealed at 320 ℃ for 40min to make the threshold voltage of the device move by about 200mV in a positive direction. Thus, a stable and consistent enhancement device with high yield was successfully fabricated, ensuring that the threshold voltage of the enhancement device was above zero.
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