【摘 要】
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针对定位与重复定位精度数据测量不稳定的问题,从激光干涉仪测量原理分析入手,得出测量距离与波长和脉冲数之间的关系。考虑了环境因素对波长的影响,对生产现场环境模块数据
【基金项目】
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陕西省教育厅科研项目(15JK1252);陕西省军民融合基金研究项目(16JMR04);渭南师范学院院级科研项目(16YKP001)
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针对定位与重复定位精度数据测量不稳定的问题,从激光干涉仪测量原理分析入手,得出测量距离与波长和脉冲数之间的关系。考虑了环境因素对波长的影响,对生产现场环境模块数据进行了测量,得出环境模块变化量对波长总的补偿量,与精度误差相比,波长变化导致的误差几乎可以忽略,经分析并通过测量验证,得出精度测量不稳定的主要原因是横梁X轴连接杆的变形导致。通过调整安装和测试位置并对横梁X轴联接杆结构进行重新设计,实现了精度补偿及测量的稳定。
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