【摘 要】
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求取未知参数或有面形误差的实际非球面光学零件面型方程,在非球面加工精度分析、光学系统成像质量分析、拆解分析光学镜头等方面都有实际需求。分析了Taylor Hobson轮廓仪测
【机 构】
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华中光电技术研究所武汉光电国家实验室,
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求取未知参数或有面形误差的实际非球面光学零件面型方程,在非球面加工精度分析、光学系统成像质量分析、拆解分析光学镜头等方面都有实际需求。分析了Taylor Hobson轮廓仪测量数据格式,采用遗传算法,根据测量数据反演非球面的方程,对反演过程中采取的关键技术进行了分析。编制软件实现了非球面方程的反演,验证了所提方法的可行性。
The actual equation of aspheric surface optical component for obtaining unknown parameters or surface error has practical requirements in aspheric surface machining accuracy analysis, optical system imaging quality analysis and disassembly analysis optical lens. The measurement data format of Taylor Hobson profiler was analyzed. The genetic algorithm was used to retrieve the equation of aspherical surface based on the measured data. The key techniques in the inversion were analyzed. The software was programmed to invert the aspherical equation and verify the feasibility of the proposed method.
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