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为实现DB—5型电子束曝光机工件台高速度及高精度的要求,研制了x向闭式静压气浮导轨,该系统由双导轨及单导轨两部分组成。本文主要介绍静压气浮导轨系统的设计计算、性能试验。
电子束曝光机工件台X向静压气浮导轨的研制
【摘 要】
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为实现DB—5型电子束曝光机工件台高速度及高精度的要求,研制了x向闭式静压气浮导轨,该系统由双导轨及单导轨两部分组成。本文主要介绍静压气浮导轨系统的设计计算、性能试验
【机 构】
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清华大学精仪系微细工程研究所,清华大学精仪系微细工程研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1989年2期
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