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本文研究了ＭＢＥ通常生长条件和氢原子辅助生长条件下（１００）、（３３１）、（２１０）、（３１１）等表面外延形貌的变化。原子力显微镜ＡＦＭ测试的结果表明：（１００）表面在氢原子辅助生长等件下外延面的岛状起伏变得更为平坦，二维生长模式得到增强；（３３１）面在两种条件下无间同台阶积累式生长，而氢原子辅助生长则减小了台阶结构的横向周期；（２１０）面在氢原子辅助生长下也使原表面存在的岛状结构尺寸减小；在（３