【摘 要】
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目的:TFT-LCD行业因Array曝光设备产能制约,需要用到Q Panel激光打码.玻璃经过激光打码后,玻璃强度降低.为了提高玻璃强度,需要对激光打码工艺进行改善.方法:通过数据收集与D
【机 构】
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合肥鑫晟光电科技有限公司 MDL技术部
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目的:TFT-LCD行业因Array曝光设备产能制约,需要用到Q Panel激光打码.玻璃经过激光打码后,玻璃强度降低.为了提高玻璃强度,需要对激光打码工艺进行改善.方法:通过数据收集与DOE实验分析方法,找到了强度影响因子.通过改良工艺流程,实现激光打码后Panel强度提升;基于激光打码后强度提升的验证,有效解决了液晶玻璃在打码后的强度衰减问题.结果:结果显示,激光在低频率下,对玻璃损伤较小,通过实验与验证,脉冲频率为300KHz以下效果较好;通过微调激光打码速度,能有效提升玻璃强度,通过实验验证,打码速度设置500mm/s效果较好.结论:激光通过瞬时与Panel表面膜层发生一系列物理及化学反应,瞬间释放的能量能破坏玻璃的结构,需要降低作用于玻璃上的能量,以有效保护液晶玻璃,从而降低玻璃损伤.
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