【摘 要】
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本文介绍一种新的由微型机控制的电视扫描IC硅片与掩膜图形自动对准系统,并详细叙述了所建立的去污矩阵和通过数据处理来消除工艺玷污对精度影响的方法,同时提出了失准偏差的
【机 构】
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清华大学精密仪器系,清华大学精密仪器系
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本文介绍一种新的由微型机控制的电视扫描IC硅片与掩膜图形自动对准系统,并详细叙述了所建立的去污矩阵和通过数据处理来消除工艺玷污对精度影响的方法,同时提出了失准偏差的矩阵计算公式。该系统的测量灵敏度可达0.08微米。
This article introduces a new microcomputer-controlled television scanning IC wafer and mask automatic alignment system, and describes in detail the decontamination matrix established and data processing to eliminate the impact of process contamination on the accuracy of the method, at the same time The matrix calculation formula of misalignment deviation is proposed. The system's measurement sensitivity of up to 0.08 microns.
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