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文中介绍用高频溅射方法制备了超微粒子气体敏感膜,研究了工艺参数对气敏膜的质量、性能的影响,并对气敏膜进行了测试,给出了试验曲线。更多还原
超微粒子气敏膜的制备
【摘 要】
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文中介绍用高频溅射方法制备了超微粒子气体敏感膜,研究了工艺参数对气敏膜的质量、性能的影响,并对气敏膜进行了测试,给出了试验曲线。更多还原
【机 构】
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沈阳工业大学,沈阳工业大学
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1989年6期
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