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叙述了器件内部水汽含量的来源和对可靠性的影响，采用控制技术后达到了良好的效果。
密封半导体器件内部水汽含量的控制
【摘 要】
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叙述了器件内部水汽含量的来源和对可靠性的影响，采用控制技术后达到了良好的效果。
【机 构】
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信息产业部电子第十三研究所,信息产业部电子第十三
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2001年7期
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