【摘 要】
：
0 引言欧洲剑桥公司在EBMF-10.5型机镜筒光路未加任何改变的情况下,推出了EBMF-300型机,仅对它的控制调试实现自动化,实用线宽即由原来的0.2μm缩小到0.1μm,精度提高一倍.
【机 构】
：
山东工业大学自动化工程系!济南250061,山东工业大学自动化工程系!济南250061,山东工业大学自动化工程系!济南250061
论文部分内容阅读
0 引言欧洲剑桥公司在EBMF-10.5型机镜筒光路未加任何改变的情况下,推出了EBMF-300型机,仅对它的控制调试实现自动化,实用线宽即由原来的0.2μm缩小到0.1μm,精度提高一倍.美国德克萨斯公司,日本武藏野,对电子束曝光机的各路电源包括物镜、聚光镜、动静态消像散、电对中都实现
0 Introduction EBMF-10.5 type machine barrel in Europe EBMF-10.5-type machine without any change in the optical path of the case, the introduction of the EBMF-300 machine, only to control the commissioning of its automation, the practical line width is reduced from the original 0.2μm 0.1μm, doubling the accuracy of the United States Texas Instruments, Musashino, Japan, for the EBM power supply including various objectives, condenser, static and dynamic elimination of astigmatism, electricity are achieved
其他文献
一、引言系统功能语法认为语言除了具有表达语言使用者对外部世界的经历和其内心世界的经验外(概念功能),它还具有表达讲话者和受话者之间的交际、社会角色定位的功能,即人际
双波峰焊接工艺是SMT各工序工艺中较难掌握的,决定双波峰焊接质量的因素很多,本文从理论上和实践上对双波峰焊接工艺的相关问题进行研究。
Dual-wave soldering process is
差示光度法测定铝合金中高含量的铬李民菁（中国长城铝业公司研究所，郑州，４５００４１）二苯氨基脲光度法常用于低含量铬的测定。本文以二苯氨基脲为显色剂，用差示光度法测定５４５４铝合金中高含量的铬
TheLectureSeriesontheRulesforStandardsDrafting(2)（二）关于封面1．封面（1）标准封面的格式，在GB／TI．l－1993中规定“由GB／TI．2做出规定”。（2）封面上应表示采用国际标准的采用程度。其封面
唐国强、吕思清、张继科、郭川、姜馨田、黄渤,这6个享誉全国的名字拥有一个的共同点,他们都是青岛人。而在距离2014青岛世园会开幕还有233天的时候,他们又共同成为备受瞩目
介绍了雷达用频率合成器的三种设计方案，给出了理论分析与实验结果。
Three design schemes of radar synthesizer are introduced, and theoretical analysis and experimen
在美剧《生活大爆炸》的某一集里,理论物理学家“谢耳朵”向神经生物学家艾米求婚了。时光倒流回十年前,这部剧刚开始播的时候,谁能想象这位怪癖的集大成者会拿着一枚戒指跪
1994年初,我因患感冒而诱发鼻炎,延续到7月份,症状日趋严重:常常不知不觉流黄水,鼻腔时阻时通,嗅觉失灵,前额及头部闷胀或疼痛,夜较日甚。曾服过大量专治鼻炎的药物,还做过
报道了用叠加能量Ｓｉ＋、Ｎ＋共注入ＳｉＯ２薄膜研究硅基发光材料。Ｓｉ＋、Ｎ＋先后注入ＳｉＯ２薄膜，并在衬底中重叠。样品退火后在紫外光激发下，可以观察到很强的紫外（～３４０ｎｍ）和紫色（～４２７ｎｍ）光致发光（ＰＬ）。还研究了光致发光激发（ＰＬＥ）谱并
本文在分析双极型模拟开关和多β晶体管工作特性的基础上，利用多β晶体管工作在线性放大区、工作速度高、射极输入射极输出结构等优点，设计了基于多β晶体管的高速电子模拟开关