【摘 要】
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光加热炉也叫弧象炉、辐射加热炉。该设备以辐射源作加热器。辐射线经—特殊设计的聚焦镜聚焦,对材料加热、熔化、进而制备单晶。此加热法具有电阻加热、高频电流加热、等离
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光加热炉也叫弧象炉、辐射加热炉。该设备以辐射源作加热器。辐射线经—特殊设计的聚焦镜聚焦,对材料加热、熔化、进而制备单晶。此加热法具有电阻加热、高频电流加热、等离子体加热、电子束加热法的优点,而避免了其缺点。本文着重介绍了光加热单晶炉的加热特性,工艺特性。目前,用此设备已初步制备了硅、锗、钇铁柘榴石单晶等十多种晶体材料。
Light heating furnace, also known as arc furnace, radiant heating furnace. The device uses a radiation source as a heater. The radiation is focused by a specially designed focusing lens which heats and melts the material, thereby producing a single crystal. This heating method has the advantages of resistance heating, high-frequency current heating, plasma heating and electron beam heating, which avoids its disadvantages. This article focuses on the heating characteristics, process characteristics of the single crystal furnace. At present, with this device has been initially prepared silicon, germanium, yttrium iron garnet single crystal more than 10 kinds of crystal materials.
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