【摘 要】
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本文介绍的是文献[1]的第二轮研制工作,包括:①用射频溅射非晶态NiSiB薄膜应变片的制备新工艺;②敏感弹性元件的设计;③薄膜压力传感器的构造与性能。 虽然,NiCrMe合金、Ta_
【机 构】
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北京航空航天大学自动控制系,北京航空航天大学自动控制系,北京航空航天大学自动控制系,北京航空航天大学自动控制系
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本文介绍的是文献[1]的第二轮研制工作,包括:①用射频溅射非晶态NiSiB薄膜应变片的制备新工艺;②敏感弹性元件的设计;③薄膜压力传感器的构造与性能。 虽然,NiCrMe合金、Ta_2N合金等性能较好且已有应用,但是,我们仍采用非晶态的NiSiB的合金。原因在:它的电阻变值与所受应变值间线性关系范围宽,最大静态应变可达10~(-2);应变灵敏系数为2～3;电阻温度系数在210℃以下仅(0～6)×10~(-6)K~(-1);电阻率达153μΩ·cm;耐腐蚀、顺磁性,所以它是一种较为理想的薄膜应变片材料。
This paper introduces the second round of literature [1] development work, including: ① using RF sputtering amorphous NiSiB film strain gauge preparation of new technology; ② sensitive elastic element design; ③ film pressure sensor structure and performance. Although, NiCrMe alloy, Ta_2N alloy, such as better performance and has been applied, but we still use amorphous NiSiB alloy. The reason is that: its resistance variable value and the strain value of a wide range of linear relationship between the maximum static strain up to 10 ~ (-2); strain sensitivity coefficient of 2 to 3; temperature coefficient of resistance below 210 ℃ only (0 ~ 6) × 10 ~ (-6) K ~ (-1); resistivity of 153μΩ · cm; corrosion resistance, paramagnetic, so it is a more ideal film strain gauge material.
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