FTIR光谱仪定镜准直误差分析及动态校正

来源 :华中科技大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:laobo999
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通过对动镜倾斜时迈克尔逊干涉仪系统模型的理论分析,建立了干涉仪动镜与定镜的非准直状态下干涉光强分布的二维数学模型,得出干涉函数,进而得知动镜与定镜相对倾斜对干涉图的影响.从调制度和相位误差两方面对因动镜倾斜造成的准直误差进行了理论分析,得到各值最大误差容限的计算方法.最后提出实际定镜动态准直校正系统的参考激光干涉和定镜姿态控制系统的实现方案,并推导出动镜和定镜相对倾斜角度的理论计算方法. Through the theoretical analysis of the Michelson interferometer system model when the moving mirror is tilted, a two-dimensional mathematical model of the interference light intensity distribution in the non-collimation state of the interferometer and the fixed mirror is established, and the interference function is obtained. The influence of the relative tilt of mirror and fixed mirror on the interferogram is analyzed theoretically from the modulation and phase errors.The results show that the maximum error tolerance of each mirror is calculated.Finally, The reference laser interferometer and attitude control system of the laser alignment system are introduced. The theoretical calculation method of the relative tilt angle between the moving mirror and the fixed mirror is deduced.
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