【摘 要】
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激光在如今的LED革命中正变得越来越重要,成为提高LED的发光效率和降低制造成本的必要工具。准分子激光器提供了独特的大面积均匀照明,而且非常适合用于将LED外延片从蓝宝石
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激光在如今的LED革命中正变得越来越重要,成为提高LED的发光效率和降低制造成本的必要工具。准分子激光器提供了独特的大面积均匀照明,而且非常适合用于将LED外延片从蓝宝石基底分离的激光剥离技术。本文将讨论准分子激光剥离技术用于制造垂直型LED,以及该技术如何应用于氮化镓基LED和氮化铝基LED的生产。另外,对于刻划和切割一些与LED相关的材料:蓝宝石,硅,碳化硅,III族氮化物(氮化镓,氮化铝)以及III-V族半导体(砷化镓,磷化镓),二极管泵浦固体激光器表现出很大的优越性。文中将讨论一些最新的激光划片技术,并讨论对于一个高质高产的加工制程如何适当地选择激光参数及光束传输器件。
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