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工艺材料中的污染物会引起器件失效并影响成品率。但对于新材料。标准的分析认证（COA）也许并不是想象中的那么可靠。
对先驱物的精确分析
【摘 要】
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工艺材料中的污染物会引起器件失效并影响成品率。但对于新材料。标准的分析认证（COA）也许并不是想象中的那么可靠。
【机 构】
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AirUquide-BalazsAnalyticalServices
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2007年6期
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