【摘 要】
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采用俄歇电子能谱、原子力显微镜、拉曼散射分析、傅里叶红外光谱和红外椭圆偏振光谱等设备，对射频等离子增强化学气相沉积法制备的掺氮类金刚石薄膜的微观结构和红外光学性能
【机 构】
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上海大学电子信息材料系,上海大学电子信息材料系,中国科学院
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采用俄歇电子能谱、原子力显微镜、拉曼散射分析、傅里叶红外光谱和红外椭圆偏振光谱等设备，对射频等离子增强化学气相沉积法制备的掺氮类金刚石薄膜的微观结构和红外光学性能进行了研究.结果表明，薄膜中氮含量随工艺中氮气/甲烷流量比的增加而增加并趋于饱和.光谱中CH键吸收峰(2859～3100cm-1)逐渐消失，而且CNH键(1600cm-1)、C≡N键(2200cm-1)和NH键(3250cm-1)对应的红外吸收峰强度随氮含量的增加而增加.拉曼散射中G峰向小波数方向位移和峰值展宽的现象说明薄膜中形成了非晶的氮化碳结
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