【摘 要】
：
本文侧重分析电子束纳米光刻中的若干限制因素，包括电子光学系统中的象差、电子束与抗蚀剂的相互作用（散射与二次电子效应）、衬底条件等，并对已用于进行纳米分辨率电子束光刻中的
论文部分内容阅读
本文侧重分析电子束纳米光刻中的若干限制因素，包括电子光学系统中的象差、电子束与抗蚀剂的相互作用（散射与二次电子效应）、衬底条件等，并对已用于进行纳米分辨率电子束光刻中的一些方法进行了归纳，讨论了其应用前景．
This paper focuses on the analysis of several limitations of electron beam nanolithography, including aberrations in electron optical systems, electron beam-to-resist interactions (scattering and secondary electron effects), substrate conditions, etc., Some methods for nanometer resolution electron beam lithography are summarized, and their application prospects are discussed.
其他文献
长期以来,汽车运输的运价,一直是由国家以省交通厅和省物价局联合制订的、如今,随着改革开放的深入,企业经营机制正在由计划经济向市场经济转换,国家已将定价权(除国家另有规
Background -Genetic mutations are the most common cause of hypertrophic cardiomyopathy(HCM) and an increasingly recognized cause of dilated cardiomyopathy. Auto
几年前,我带一位新加坡导演逛香港。那时,盗版光盘仍然盛行,我告诉他,旺角的信和中心是盗版光盘主要的销售点——商场二楼,大半层售卖盗版光盘,中外影视剧、游戏等等。而商场
本文主要提出与井点排水设计有关的影响半径、总排水管直径、排水设备及电源线路等,在设计时应注意的问题。
This paper mainly puts forward the problems that should be
世界上最大的斜张桥诺曼底桥工程即将动工兴建。该桥主跨跨径达856m(塔身为混凝土,主跨为钢箱梁,边跨为预应力混凝土箱梁),位于道维尔海峡勒阿弗尔港。混凝土结构的施工由两
我不是官,无意为官者辩。但是,我仍要固执地问:朋友,假设你也当了官,你能保证自己两袖清风吗? 抽鸦片是能上瘾的。官与鸦片一样,也能上瘾。只要当官可以享受许许多多草民们
目前,我国的水电建设面临的形势十分严峻,开工明显不足。其主要原因之一在于水电工程规模庞大,投资也庞大。近几年来,包括水电工程在内的基本建设投资增长较快,其原因是多方
本文介绍了真空微电子器件场发射阴极硅尖阵列的制备工艺技术。采用硅的各向异性腐蚀工艺和氧化削尖技术制成了形状和发射性能均较好的硅尖阵列，测试结果表明，起始发射电压为５～６Ｖ，发
在坚硬石料来源有困难的地方,采用水泥土基层,上铺单层沥青混凝土面层,作为3～5级公路的路面,在未来将被广泛采用。这不仅解决了筑路材料问题,并且能降低造价的20～60％。苏联从19
城市湿地公园的开发与建设有着重要的意义,但目前我国在城市湿地公园在开发中仍存在不少问题。该文以贵阳花溪十里河滩湿地公园为研究对象,分析其开发和利用中的问题所在,提