【摘 要】
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介绍一种新型干涉测量系统,该系统采用并列的两个参考镜,将产生的两组干涉条纹复合在同一视场。当测量系统产生的光程改变时,两组干涉条纹相对关系按一定规律变化,借助光电转换和
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介绍一种新型干涉测量系统,该系统采用并列的两个参考镜,将产生的两组干涉条纹复合在同一视场。当测量系统产生的光程改变时,两组干涉条纹相对关系按一定规律变化,借助光电转换和图像分析技术,可用于长度和微小角度测量。介绍了可行性实验和测取的数据及分析所得出的结论。
A new type of interference measurement system is introduced. The system uses two parallel reference mirrors to combine the two groups of interference fringes in the same field of view. When the optical path generated by the measuring system changes, the relative relationship between the two interference fringes changes according to a certain rule. With the help of photoelectric conversion and image analysis technology, it can be used for measuring the length and the tiny angle. The feasibility of the experiment and the measured data and analysis of the conclusions drawn.
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