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微机电系统（MEMS）倍受世界各国的重视。微驱动机构是微机电系统的动力核心。介绍一种以电磁波驱动PN结的微电机新驱动原理。
电磁波驱动PN结微电机原理及结构
【摘 要】
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微机电系统（MEMS）倍受世界各国的重视。微驱动机构是微机电系统的动力核心。介绍一种以电磁波驱动PN结的微电机新驱动原理。
【机 构】
：
华中科技大学电信系微波技术中心
【出 处】
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微电机
【发表日期】
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2008年8期
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