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采用微机电系统技术制作了螺线管电感．为了获得高电感量和Q值，采用UV-LIGA、干法刻蚀、抛光和电镀技术，研制的电感大小为1500μm×900μm×70μm，线圈匝数为41匝，宽度为20μm，线圈之间的间隙为20μm，高深宽比为3．5：1．测试结果表明电感量最大值为6．17nH，Q值约为6．
采用MEMS技术制作的螺线管电感
【摘 要】
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采用微机电系统技术制作了螺线管电感．为了获得高电感量和Q值，采用UV-LIGA、干法刻蚀、抛光和电镀技术，研制的电感大小为1500μm×900μm×70μm，线圈匝数为41匝，宽度为20
【机 构】
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上海交通大学微纳科学技术研究院
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2005年6期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(批准号:2004AA302042),,国家自然科学基金(批准号:50275096),,上海市纳米专项(批准号:0215nm104,0352nm014)资助项目
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