【摘 要】
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针对应变片在圆平薄膜上的两种布置方式 ,导出圆平薄膜压力传感器灵敏度的计算公式 ,分析应变片布置方式和位置以及温度对灵敏度的影响 ,通过理论计算与实际测量结果比较 ,指出提高压力传感器灵敏度的有效途径为采用轻掺杂的应变电阻。分析应变片 2种布置方式压力传感器灵敏度与温度的关系。
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针对应变片在圆平薄膜上的两种布置方式 ,导出圆平薄膜压力传感器灵敏度的计算公式 ,分析应变片布置方式和位置以及温度对灵敏度的影响 ,通过理论计算与实际测量结果比较 ,指出提高压力传感器灵敏度的有效途径为采用轻掺杂的应变电阻。分析应变片 2种布置方式压力传感器灵敏度与温度的关系。
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