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探索了采用新工艺生产海绵钛中回收的四氯化硅产品的气相色谱分析方法。本方法在充满干燥高纯N2(N2的体积分数为99.99%)的有机玻璃手套箱内密闭取样,选用SE一54型毛细管柱,程序升温,柱温为120℃,进样口温度为150℃,检测器为热导池检测器,载气为氢气,线速度为20cm/s。在上述条件下,实现了四氯化硅的完全分离(R〉1)。对认定值为99.99%(质量分数)高纯四氯化硅标准样品分析,归一化法定量,得到该样品中四氯化硅的测定平均值为99.857%(质量分数),相对标准偏差为0.03%。该方法能在10mi