【摘 要】
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Amray公司的1845型场致发射扫描式电子显微镜(SEM),与采用钨或硼化灯的原来的SEM相比有重大进步,具备了空间分辨能力。它特别适于在低电压条件下使用。为在30kV电压下得到1.
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Amray公司的1845型场致发射扫描式电子显微镜(SEM),与采用钨或硼化灯的原来的SEM相比有重大进步,具备了空间分辨能力。它特别适于在低电压条件下使用。为在30kV电压下得到1.5nm的分辨率,采用了专利产品—肖脱基FE电子枪。放大倍率在
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