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高反压器件终端结构模拟中耗尽层的先验估计
高反压器件终端结构模拟中耗尽层的先验估计
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jydliu
【摘 要】
:
从基本半导体方程出发,用奇异摄动方法建立了适用于终端结构模拟的数学模型,然后,采用上、下解方法对牦尽层边界给出了一个先验估计,克服了迭代计算耗尽层边界时,由于初值选
【作 者】
:
曹俊诚
魏同立
郑茳
吴金
【机 构】
:
东南大学微电子中心低温实验室,东南大学微电子中心低温实验室南京210018,南京210018,南京210018
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
1993年1期
【关键词】
:
终端
结构
上解
MOS器件
Junction Termination Structure (JTS)
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从基本半导体方程出发,用奇异摄动方法建立了适用于终端结构模拟的数学模型,然后,采用上、下解方法对牦尽层边界给出了一个先验估计,克服了迭代计算耗尽层边界时,由于初值选得过大或过小造成的电场、电位围绕期望值波动的现象。最后,给出了一个数值例子。
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