【摘 要】
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采用干胶膜代替传统的光刻胶进行微图案的制备，并研究了工艺过程中的前烘时间、光刻时间、显影时间、显影液浓度等参数对微图案的影响。通过实验，研究发现当烘时间为30min、光
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采用干胶膜代替传统的光刻胶进行微图案的制备，并研究了工艺过程中的前烘时间、光刻时间、显影时间、显影液浓度等参数对微图案的影响。通过实验，研究发现当烘时间为30min、光刻时间为80s（光源为350W汞灯）、显影时间为90S、显影浓度为4％（显影液为Na2CO3溶液）时，可以成功制备出分辨率为50μm的图案线宽。
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