应用电磁波剔除早期失效的半导体器件

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本文根据在横电磁波作用下半导体中载流子运动方程的解说明了电磁波对半导体器件同时具有热与非热效应作用。用实验证实了电磁波对半导体器件参数的影响,并给出了一批产品的早期失效曲线。说明了应用电磁波剔除早期失效半导体器件具有时间短,安全的优点。最后介绍了试验的系统和设备。 According to the solution of the equation of carrier motion in semiconductors under the action of transverse electromagnetic waves, the effect of electromagnetic waves on the thermal and non-thermal effects of semiconductor devices is demonstrated. The influence of the electromagnetic wave on the parameters of the semiconductor device is verified by experiments, and the early failure curves of a batch of products are given. It shows that the application of electromagnetic wave to eliminate the early failure of semiconductor devices with short time, the advantages of safety. Finally, the experimental system and equipment are introduced.
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