【摘 要】
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提出了一种含有新型不规则形状的压力敏感膜的压阻式压力传感器，这种新型薄膜结构能够将整个膜面的应变聚集在四个局部区域内，从而提高传感器的灵敏度。惠斯通电桥被用来实现压强到电信号的转换，而电桥上的薄膜电阻刚好位于压力敏感膜片上的四个应变最大区域。实验测试表明，压力传感器能在3～129 kPa压强范围内正常工作，灵敏度为27.34μV/kPa,迟滞为1.2%,精度为±2.348%FS。此外，还在压力敏感
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提出了一种含有新型不规则形状的压力敏感膜的压阻式压力传感器，这种新型薄膜结构能够将整个膜面的应变聚集在四个局部区域内，从而提高传感器的灵敏度。惠斯通电桥被用来实现压强到电信号的转换，而电桥上的薄膜电阻刚好位于压力敏感膜片上的四个应变最大区域。实验测试表明，压力传感器能在3～129 kPa压强范围内正常工作，灵敏度为27.34μV/kPa,迟滞为1.2%,精度为±2.348%FS。此外，还在压力敏感膜外的零应变区集成了一个温敏电阻RT作为温度传感器，仿真和测试结果表明，压强不会干扰温敏电阻的工作。采用开尔文四线法来测量RT与温度的关系，测试结果表明温度传感器能在16～113℃的温度范围内工作，灵敏度为2.55Ω/℃,迟滞误差为0.1%,精度为±0.145%FS。
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