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利用SRIM2013软件,分别模拟计算了3组合金靶材Fe-Cr、Cu-Ni和Au-Ag在氩离子入射时的溅射产额,根据计算结果得出3组合金均存在择优溅射现象,择优溅射与金属原子的表面结合能有关的结论。同时模拟了Au-Ag合金的溅射产额随入射离子能量和合金成分的变化情况,并分析其择优溅射机制。
合金靶材择优溅射的SRIM模拟研究
【摘 要】
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利用SRIM2013软件,分别模拟计算了3组合金靶材Fe-Cr、Cu-Ni和Au-Ag在氩离子入射时的溅射产额,根据计算结果得出3组合金均存在择优溅射现象,择优溅射与金属原子的表面结合能有
【机 构】
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皖西学院基础实验中心
【出 处】
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皖西学院学报
【发表日期】
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2014年05期
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