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采用剥离技术,实现了GaN基紫外探测器件与硅读出电路的倒焊对接,对提高GaN基紫外图像传感器的电学特性起到了重要的作用.介绍了剥离技术的原理,实验结果分析及应用.
剥离技术在GaN基紫外图像传感器中的应用
【摘 要】
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采用剥离技术,实现了GaN基紫外探测器件与硅读出电路的倒焊对接,对提高GaN基紫外图像传感器的电学特性起到了重要的作用.介绍了剥离技术的原理,实验结果分析及应用.
【机 构】
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重庆光电技术研究所,重庆邮电学院
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2005年2期
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