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1978年Thomes和Y．H·Wong首次报导了激光扫描微探针（又叫激光光声成象和光声显微镜）的无损探测技术。目前，这种技水在探测特种陶瓷材料氮化硅的表面和次表面结构以及集成电路的检测方面已见到好的结果。文献中曾报导了几种探测模型的研究结果。
激光扫描光声微探针应用研究
【摘 要】
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1978年Thomes和Y．H·Wong首次报导了激光扫描微探针（又叫激光光声成象和光声显微镜）的无损探测技术。目前，这种技水在探测特种陶瓷材料氮化硅的表面和次表面结构以及集成电路
【机 构】
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中国科学院长春应用化学研究所
【出 处】
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四川激光
【发表日期】
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1982年2期
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