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实验表明SOI MOSFET掩埋氧化层中的总剂量辐射效应与辐射过程中的偏置状态有关.对诱发背沟道泄漏电流的陷阱电荷进行了研究.建立一个数值模型来模拟不同偏置下陷进电荷的建立,它包括辐射产生的载流子复合和俘获的过程.模拟结果与实验结果相符,解释了总剂量辐射效应受偏置状态影响的机理.
部分耗尽SOI MOSFET总剂量效应与偏置状态的关系
【摘 要】
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实验表明SOI MOSFET掩埋氧化层中的总剂量辐射效应与辐射过程中的偏置状态有关.对诱发背沟道泄漏电流的陷阱电荷进行了研究.建立一个数值模型来模拟不同偏置下陷进电荷的建立
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050
【出 处】
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第五届粒子物理、核物理和宇宙学交叉学科前沿问题研讨会
【发表日期】
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2006年8期
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