【摘 要】
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一、序言在测定真空泵的性能或用小孔法校准真空计时,必须高精度测定流量 Q。流量的测定方法很早就知道有定压法,定容法,电导法等。新的方法也有报导。但当流量小时,无论那
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一、序言在测定真空泵的性能或用小孔法校准真空计时,必须高精度测定流量 Q。流量的测定方法很早就知道有定压法,定容法,电导法等。新的方法也有报导。但当流量小时,无论那种方法都有问题,不易高精度测定。
First, the preamble In determining the performance of the vacuum pump or hole method to calibrate the vacuum gauge, you must measure the flow Q. Determination of flow Very early know that there are constant pressure method, constant volume method, conductivity method. New methods are also reported. However, when the flow rate is small, no matter what kind of method has a problem, difficult to measure with high accuracy.
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