【摘 要】
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本文描述了与InP晶格匹配的In_(1-x)Ga_xAs_yP_(1-y)层的液相外延生长方法。探讨了生长温度及液相组份对外延层参数的影响。提出了一种调整In_(1-x)Ga_xAs_yP_(1-y)外延层参
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本文描述了与InP晶格匹配的In_(1-x)Ga_xAs_yP_(1-y)层的液相外延生长方法。探讨了生长温度及液相组份对外延层参数的影响。提出了一种调整In_(1-x)Ga_xAs_yP_(1-y)外延层参数的简便方法,从而使外延工艺可控,且获得了较好的重复性。
This paper describes the liquid-phase epitaxial growth of In_ (1-x) Ga_xAs_yP_ (1-y) layers lattice-matched with InP. The effects of the growth temperature and the liquid phase on the parameters of the epitaxial layer were discussed. A simple method of adjusting the parameters of the epitaxial layer of In_ (1-x) Ga_xAs_yP_ (1-y) is proposed, which makes the epitaxial process controllable and obtains good repeatability.
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