【摘 要】
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本文用ＭＯＣＶＤ法研究了ＧａＩｎＰ及其掺Ｚｎ材料的生长和特性，并进行了生长速率对生长动力学、Ｚｎ的掺杂效率、Ｉｎ的组分、表面形貌、电学性质的影响研究．
In this paper, the growth and properties of
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本文用ＭＯＣＶＤ法研究了ＧａＩｎＰ及其掺Ｚｎ材料的生长和特性，并进行了生长速率对生长动力学、Ｚｎ的掺杂效率、Ｉｎ的组分、表面形貌、电学性质的影响研究．
In this paper, the growth and properties of GaInP and Zn-doped materials were investigated by MOCVD. The effects of growth rate on growth kinetics, Zn doping efficiency, In composition, surface morphology and electrical properties were studied.
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