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用真空热蒸发法在玻璃基板上制得酞菁铜薄膜。用原子力显微镜、紫外可见分光光度计及红外光谱仪等分析了酞菁铜薄膜的结构特征，并对薄膜的沉积机理进行了探讨。通过与Ｌ－Ｂ法的比较，发现用真空热蒸发法制备的酞菁铜薄膜结构、性能更佳。
酞菁铜薄膜的真空热蒸发制备及其性能
【摘 要】
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用真空热蒸发法在玻璃基板上制得酞菁铜薄膜。用原子力显微镜、紫外可见分光光度计及红外光谱仪等分析了酞菁铜薄膜的结构特征，并对薄膜的沉积机理进行了探讨。通过与Ｌ－Ｂ法的比较
【机 构】
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浙江大学材料科学与工程系硅材料国家重点实验室
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2000年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金!(69890230)
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