【摘 要】
：
在半导体器件生产工艺流程中,为对器件施行各种工艺处理,必须在器件表面生长或涂敷一层保护膜。 硅表面涂膜和去膜一般都要经过烦锁的操作。因此,改进器件表面各种工艺处理
论文部分内容阅读
在半导体器件生产工艺流程中,为对器件施行各种工艺处理,必须在器件表面生长或涂敷一层保护膜。 硅表面涂膜和去膜一般都要经过烦锁的操作。因此,改进器件表面各种工艺处理膜的涂膜和去膜工艺,对器件的生产有重要作用。下面推荐涤纶绝缘胶带的应用。
In the semiconductor device production process, in order to implement a variety of process devices, devices must be grown or coated with a protective film. Silicon surface coating and to the film generally have to trouble-locked operation. Therefore, improving the surface of the device processing a variety of film coating and film removal process, the device has an important role in the production. The following recommended polyester insulation tape applications.
其他文献
强击5型战斗机在飞行一定的时间后,其机炮的位置精度需重新校正。另外机身和机翼的变形也需进行测量,以便观察变形量是否超出范围。两年来,在空军部队某机场,用激光水准仪进
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.
2008年是我国改革开放三十周年、中国人民银行建行60周年,值此伟大历史时刻,隆重限量发行具有法定面值的“中国改革开放三十周年金银币大全套”。此套金银纪念币,题材是以中
通过改进外延工艺,大大提高了外延层的层厚和组分的均匀性。采用象衬显微镜,扫描电镜,光萤光等对表面形貌、层厚、组分等进行了分析,并对制成的条形激光器的电学和光学特性进
本文介绍用 YAG 声光调 Q 激光对薄、厚膜电路进行微调的工作原理、光学系统及应用实例,列举了激光调阻的优点。
This paper introduces the work principle of YAG acousto
近几年来有关规律探索性题目在中考数学中频繁出现,成为中考数学选择题、填空题和压轴题必考题型之一.新课标指出:“创新意识的培养是现代教育的基本任务,归纳概括得到猜想和
热电微型组件预供光敏电阻低温稳定器、辐射接收器和其他电子技术元件致冷之用。该微型组件由4～5级温差电池串联而成,工作面积为0.1～0.8cm~2,在接近最高效率的状态下工作。使
本文用光致发光法(4.2°K和1.8°K)研究高纯度LPE—GaAs和VPE—GaAs的剩余受主杂质。实验结果表明,高纯LPE—CaAs的剩余受主杂质为C、Si、Ge,而在AsCl_3—Ga—H_2系统中生长
据悉,2017年8月,周雪平课题组在国际病毒学领域期刊Journal of Virology上发表了题为“Mimic phosphorylation of a β C1 encoded by TYLCCNB impairs its functions as a v
氧气减压器是气焊（割）作业中必不可少的专用工具，也是使用频繁的一种工具，在人们印象中它非常安全。可是令人难以置信的是：氧气减压器在正常使用中竟然着了火。一、 事故经过1998