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总公司位于英国威尔士New Port的Surface Technology Systems plc(STS)近日宣布推出其新产品"Pegasus"全新离子反应式深硅刻蚀机,该机器可以将硅刻蚀的工艺最佳化,更可大幅度地改善制程能力的稳定度及机器的可靠性.
STS新型Pegasus机器特别适用于深硅刻蚀
【摘 要】
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总公司位于英国威尔士New Port的Surface Technology Systems plc(STS)近日宣布推出其新产品"Pegasus"全新离子反应式深硅刻蚀机,该机器可以将硅刻蚀的工艺最佳化,更可大幅度
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2005年9期
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