【摘 要】
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辉光放电质谱（GDMS）作为高纯金属和半导体材料分析的强有力工具在国内已得到了大量应用，该文简要介绍了GDMS的基本原理和国内外应用现状，对仪器测量条件的选择、测量重复性进行了
【机 构】
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中国计量科学研究院,中国原子能科学研究院
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辉光放电质谱（GDMS）作为高纯金属和半导体材料分析的强有力工具在国内已得到了大量应用，该文简要介绍了GDMS的基本原理和国内外应用现状，对仪器测量条件的选择、测量重复性进行了详细研究，对于含量在1mg／kg左右的杂质，测量的重复性将产生约1％～5％的不确定度；对不同金属基体的系列标准物质进行对比研究，发现对于基体相同的样品，杂质元素在较宽的浓度范围内可以使用同样的校正系数进行校正，大部分元素的线性相关系数达到0．999以上，但对于不同基体的样品，测量中仍存在明显的基体效应，一些元素，尤其是轻质量数元素的
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