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本文就美国原ＧＣＡ公司生产的ＤＳＷ８５００ＳＥ光刻机套刻精度的误差分类，产生误差的原因以及校正方法进行了详细的讨论，通过这些叙述旨在对设备维修人员和......
介绍用于 0 .35μm投影光刻机的逐场调平技术 ,讨论其检测和控制原理 ,并作精度分析 ;讨论逐场调平对套刻精度的影响 ,并建立三轴......
1 适用范围本标准规定了主要为电子设备使用的印制线路板(以下称为印制板)通用要求,相关的有外形等各种尺寸以及由专项标准规定的......
在蠕变试验中使用了各种方法测量应变。不论用什么方法,不论直接测量或间接测量,它都是假定所测量的应变是在试样标距内产生的伸......
三台 PC—1000相机的校准是用近似天顶星体曝光完成的。校准包括确定每台相机的焦距、主点和镜头畸变,并由精确的最小二乘法导出相......
在设备制造与安装过程中,经常遇到一些不便使用水平仪、水平尺险测水平的大型构件和设备。为此,我们设计制造了液体连通水平仪。......
本文分析了闪光阴影摄影的工作原理、摄影布站方法、数据处理方法及其测量误差,并介绍了MSS闪光阴影摄影系统有关技术规格和在弹道......
本文探讨了在薄膜器件生产的尺寸大小和涂层方面比传统的紫外线接触式或接近式曝光的要求还高的光刻技术的优缺点,对其每一种光刻......
三、刻蝕和剝离大多数表面波器件有金属薄膜的叉指结构。有时电极达几百甚至几千条,而且通常要求线条间不短路。在下节,我们将讨......
方法一:rn(1)取出惰齿轮,使正时齿轮之间不啮合,曲轴与凸轮轴失去连接.rn(2)摇转曲轴,使第一缸活塞处于压缩上止点位置,即飞轮轮缘......
对表面组装印制电路板基准点的可制造性设计进行了详细的阐述,内容含概了定位标记的分类、标记对形状、组成、位置、尺寸、边缘距......
1.介绍。资料来源:膀胱癌是全球第9大常见癌症,年发病率为43万例。在癌症相关死亡率方面,它排在第13位,受影响的男性是女性的6倍。......
介绍了投影光刻机的分步重复自动对准光刻系统，分析了其工作原理;从对准标记的设计、工艺与对准的关系两方面进行了论述，阐述了采用......
检查发动机转速传感器发动机转速传感器(G28)是转速和基准标记传感器。若无转速信号,发动机不会起动。正在运转中的发动机转速信号......
<正> 前 言 机器视觉系统应用计算机获得图象并进行判断,进而作出决定。作出的决定可以是检查结果,也可以是机器或机械手下一步控......
分析基于平面方格点的摄像机标定算法，指出基于表征靶标平面到图像平面映射的矩阵的求解存在标定点的相关性问题。通过引入基准系统......
蔡家话是一个以SVO为主要语序的类汉语分析型语言,归属不详,主要分布在贵州省西北部的威宁和赫章。文章从类型学角度出发,介绍蔡家......
分步投影光刻设备对准系统是由嵌在工作台上的一组基准标记、一套离轴对准系统和一套掩模对准系统组成.当工作台上的基准标记运行......
