【摘 要】
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本文主要评价国产302负性抗蚀剂的性能。这种抗蚀剂可对SiO_2、掺磷掺硼SiO_2、Si_3N_4、Al等表面有较好的粘附,以及具有0.25针孔/mm~2的针孔率,并可对0.5微米线条进行分辨。
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本文主要评价国产302负性抗蚀剂的性能。这种抗蚀剂可对SiO_2、掺磷掺硼SiO_2、Si_3N_4、Al等表面有较好的粘附,以及具有0.25针孔/mm~2的针孔率,并可对0.5微米线条进行分辨。文中还评述了其应用状况。
This paper mainly evaluates the properties of domestic 302 negative resist. The resist has better adhesion to SiO 2, phosphorus-doped boron-doped SiO 2, Si 3 N 4, Al and the like, and has a pinhole rate of 0.25 pinhole / mm 2 and can distinguish 0.5 micron lines. The article also comments on its application.
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