半导体湿敏元件

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一、前言在人们的日常生活中,在工农业生产上,医疗器械以及科学技术等方面,湿度与温度一样,是一个不可缺少的物理量。例如:建筑物的空调房相对湿度一般在40%—70%,电子工业要求相对湿度在40%以下,……。湿敏元件的应用范围是十分广泛的。表1列出各行业湿敏元件的部分应用范围。一提起湿度的测量和控制,人们很自然就会联想到毛发湿度计、干湿球湿度计,Dun-more型湿度计(LiCl湿度计)等等。虽然这些湿度计具有测量准确、长期稳定、使用面广 I. Foreword In people’s daily life, in industrial and agricultural production, medical equipment and science and technology, humidity and temperature, is an indispensable physical quantity. For example: building air-conditioned room relative humidity is generally 40% -70%, the electronics industry requires relative humidity below 40%, ....... Humidity sensor applications is very wide range. Table 1 lists some of the various sectors of humidity sensor applications. When it comes to measuring and controlling humidity, people naturally think of hair hygrometers, wet and dry bulb hygrometers, Dun-more hygrometers (LiCl hygrometers) and more. Although these hygrometers have the measurement accuracy, long-term stability, the use of a wide range
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