钛表面等离子体氧化膜及其抗划擦性能

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对纯钛表面在不同电压下制备了等离子体氧化膜,采用声发射监控的划痕法研究了等离子体氧化膜的临界载荷Lc.形貌和成分分析显示随着电压的升高试样表面的放电气孔孔径尺寸变大,同时在高电压下出现少量的CaTiO3;划痕试验表明临界载荷Lc随电压的升高而降低.
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